| 专利名称 | 部分环带光子筛及其制作方法 | 申请号 | CN200810115562.5 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN101614961 | 公开（授权）日 | 2009.12.30 | 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 贾佳;谢长青;刘明 | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 专利有效期 | 部分环带光子筛及其制作方法 至部分环带光子筛及其制作方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种部分环带光子筛，该部分环带光子筛由在透明介质 上制作而成的衍射孔和刻蚀圆环构成，所述衍射孔是在透明介质上制作形 成普通光子筛时普通光子筛的衍射孔，所述刻蚀圆环是在透明介质上制作 形成普通光子筛后，在形成普通光子筛衍射孔以外的菲涅耳波带片圆环的 环带上刻蚀形成的圆环位相环。利用本发明，实现了激光束远场衍射斑的 主斑能量的再提升和主瓣尺寸压缩。 |
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