| 专利名称 | 一种扫描近场光学显微镜 | 申请号 | CN201210116669.8 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102621351A | 公开（授权）日 | 2012.08.01 | 申请（专利权）人 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 发明（设计）人 | 钟海舰;刘争晖;徐耿钊;樊英民;徐科 | 主分类号 | G01Q60/18(2010.01)I | IPC主分类号 | G01Q60/18(2010.01)I | 专利有效期 | 一种扫描近场光学显微镜 至一种扫描近场光学显微镜 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及显微成像领域。本发明提供一种扫描近场光学显微镜，包括真空腔体和光纤探针扫描装置系统，所述光纤探针扫描装置系统位于真空腔体中，所述光纤探针扫描单元包括一光纤探针，一支撑架和一光纤定位槽，所述光纤定位槽位于支撑架上，所述光纤探针的尾端固定于光纤定位槽上，所述光纤探针扫描装置系统包括多个光纤探针扫描单元。本发明的优点在于，通过在真空腔体内设置多个光纤探针扫描单元，从而避免更换光纤探针所面临的巨大的人力、物力和时间的浪费。 |
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