专利名称 | 一种硼掺杂玻璃炭材料及其制备方法 | 申请号 | CN201110033224.9 | 专利类型 | 发明专利 | 公开(公告)号 | CN102618841A | 公开(授权)日 | 2012.08.01 | 申请(专利权)人 | 中国科学院金属研究所 | 发明(设计)人 | 吴峻峰;白朔;许力;成会明;徐红军;周序科;罗川;周金玉 | 主分类号 | C23C16/26(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C16/26(2006.01)I | 专利有效期 | 一种硼掺杂玻璃炭材料及其制备方法 至一种硼掺杂玻璃炭材料及其制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及玻璃炭材料领域,具体为一种硼掺杂玻璃炭材料及其化学气相沉积制备方法。利用化学气相共沉积工艺,以石墨作为沉积基体,沉积压力为常压或略高于1atm,沉积温度为1100~1400℃,在达到设定的沉积温度后,同时通入碳源和硼源气体,在高温化学气相沉积炉中实现硼碳共沉积,制备硼掺杂玻璃炭材料中的硼掺杂含量为2~15at.%。本发明可以制备结构均匀致密、具有良好抗氧化性能的硼掺杂玻璃炭材料,表面光滑呈现玻璃状光泽,孔度极小,具有特殊玻璃状断口特征,无生长特征,是各向同性材料。由于该方法利用常规的化学气相沉积设备进行制备,省去了传统玻璃炭的成型、固化、炭化和石墨化等复杂的工序,因此大大缩短玻璃炭的生产周期,降低生产成本。 |
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