| 专利名称 | 一种检测小孔衍射球面波光学面形的检测装置及方法 | 申请号 | CN201210106746.1 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102620842A | 公开（授权）日 | 2012.08.01 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 贾辛;许嘉俊;邢廷文 | 主分类号 | G01J9/02(2006.01)I | IPC主分类号 | G01J9/02(2006.01)I | 专利有效期 | 一种检测小孔衍射球面波光学面形的检测装置及方法 至一种检测小孔衍射球面波光学面形的检测装置及方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供一种检测小孔衍射球面波光学面形的检测装置及方法，从激光器发射的光经过滤波孔、聚光镜、空间滤波器、扩束镜、λ/2波片、λ/4波片、半透半反镜后分成两路光，经过半透半反镜反射的第一路光照射第一小孔，第二路光经过半透半反镜透射后经分光镜透射，再经反射镜反射的光再经分光镜反射，再经衰减片照射到第二小孔。第二小孔产生的衍射球面波与第一小孔产生的衍射球面波发生干涉，干涉条纹经过会聚光学单元，再由光学探测器收集。然后旋转小孔夹持架，测量第二小孔和第三小孔产生的衍射球面波的误差。再次旋转小孔夹持架，测量第三小孔和第一小孔产生的衍射球面波的误差，从而解出三个小孔产生的衍射球面波的误差。本发明降低高精度小孔的加工成本，同时使测量更加自动化，不需要更换小孔。 |
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