| 专利名称 | 基于MEMS技术的堆叠式二轴微镜阵列驱动器及应用 | 申请号 | CN201110003994.9 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102129125A | 公开（授权）日 | 2011.07.20 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明（设计）人 | 李四华;吴亚明 | 主分类号 | G02B26/08(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B26/08(2006.01)I;G02B6/293(2006.01)I;B81B5/00(2006.01)I | 专利有效期 | 基于MEMS技术的堆叠式二轴微镜阵列驱动器及应用 至基于MEMS技术的堆叠式二轴微镜阵列驱动器及应用 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种基于MEMS技术的堆叠式二轴微镜阵列驱动器17由单个堆叠式二轴微镜驱动器16阵列化排布而成。单个堆叠式二轴微镜驱动器16由下电极结构13，中间电极结构14和上电极结构15共三个独立部件构成。其中三个独立部件由以下结构构成：弯曲悬臂梁1、扭转悬臂梁2、扭转悬臂梁3、台阶下电极4、X轴转动方向基底镜面的限位平面5、台阶下电极的引线锚点6、X轴转动方向基底镜面7、X轴转动方向基底镜面的限位凸点8、Y轴转动方向上镜面支撑锚点9Y轴转动方向上镜面10，Y轴转动方向上镜面的限位凸点11、Y轴转动方向上镜面的电极引线锚点12。 |
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