低发散角全布拉格反射波导半导体激光器阵列

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专利名称 低发散角全布拉格反射波导半导体激光器阵列 申请号 CN201210080117.6 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN102611002A 公开(授权)日 2012.07.25 申请(专利权)人 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 发明(设计)人 杨晔;佟存柱;汪丽杰;王立军;曾玉刚;刘云 主分类号 H01S5/22(2006.01)I IPC主分类号 H01S5/22(2006.01)I 专利有效期 低发散角全布拉格反射波导半导体激光器阵列 至低发散角全布拉格反射波导半导体激光器阵列 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 低发散角全布拉格反射波导半导体激光器阵列,属于半导体激光器领域,为了降低纵向和横向发散角,以改善激光器的光束质量,获得高亮度激光输出,本发明设计了低发散角全布拉格反射波导半导体激光器阵列,该阵列纵向结构从下至上依次为:N型衬底、N型限制层、N型布拉格反射波导、有源区、P型布拉格反射波导、P型限制层、P型盖层,所述纵向结构中N型布拉格反射波导和P型布拉格反射波导分别至少由一对高、低折射率材料周期生长组成,该阵列横向结构包括电流注入区和其两侧的横向布拉格反射波导,所述两侧的横向布拉格反射波导分别至少由一对高、低脊形结构周期排列组成,所述低脊形部分紧挨电流注入区。本发明实现了高亮度激光输出。

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