| 专利名称 | 蓝宝石衬底及抛光方法与应用 | 申请号 | CN200910053513.8 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN101604666 | 公开（授权）日 | 2009.12.16 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明（设计）人 | 胡晓凯;宋志棠;刘卫丽 | 主分类号 | H01L23/00(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L23/00(2006.01)I;H01L21/304(2006.01)I;H01L21/306(2006.01)I | 专利有效期 | 蓝宝石衬底及抛光方法与应用 至蓝宝石衬底及抛光方法与应用 | 法律状态 | 授权 | 说明书摘要 | 本发明涉及半导体材料领域，公开了一种蓝宝石衬底及其抛光方法与应用，本发明的蓝 宝石衬底表面抛光，且抛光表面具有随机无序的凹陷图案结构。本发明的蓝宝石衬底表面 只有局部平坦化。这样的蓝宝石衬底大大降低了加工成本，增加了抛光效率。 |
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