| 专利名称 | 一种硅溶胶晶种的制备方法 | 申请号 | CN200910054211.2 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN101597066 | 公开（授权）日 | 2009.12.09 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明（设计）人 | 胡晓凯;宋志棠;刘卫丽;汪海波;张磊 | 主分类号 | C01B33/14(2006.01)I | IPC主分类号 | C01B33/14(2006.01)I;C09K3/14(2006.01)I;C09G1/02(2006.01)I | 专利有效期 | 一种硅溶胶晶种的制备方法 至一种硅溶胶晶种的制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明属于微电子及光电子材料技术领域，具体涉及一种硅溶胶晶种的制备方法。本 发明的制备方法包括：将碱性硅酸盐质水溶液与酸性硅酸盐质水溶液混合后制得弱碱性混 合硅酸盐质水溶液；弱碱性混合硅酸盐质水溶液经水热反应制得硅溶胶晶种。本发明的方 法制得的硅胶体晶种尺寸大，可达10～30nm；且浓度高，胶体颗粒质量百分比浓度范围是 10％～20％。本发明制备的大粒径高浓度的硅溶胶晶种可用于制备更大粒径和更高浓度的硅 溶胶研磨颗粒胶体水溶液，且该制备方法具有节能、高效和方便的优点。 |
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