| 专利名称 | 一种热电堆红外探测器 | 申请号 | CN201010173938.5 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102244190A | 公开（授权）日 | 2011.11.16 | 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 刘瑞文;焦斌斌;陈大鹏 | 主分类号 | H01L35/32(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L35/32(2006.01)I;H01L35/02(2006.01)I | 专利有效期 | 一种热电堆红外探测器 至一种热电堆红外探测器 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种热电堆红外探测器，包括全镂空结构的衬底以及其上的热电堆、第一红外吸收层和钝化层，以及形成于钝化层之上的反射层，以及通过牺牲层释放技术形成的第二红外吸收层。所述探测器提高了红外吸收率，并使热电偶对冷端与热端的温度差增大，从而使探测器的响应率变大，灵敏度提高。 |
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