| 专利名称 | 含光束整形与波长转动调谐的线宽压缩装置 | 申请号 | CN200910052119.2 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN101581866 | 公开（授权）日 | 2009.11.18 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 周军;张海波;赵宏明;楼祺洪;魏运荣;董景星 | 主分类号 | G02F1/35(2006.01)I | IPC主分类号 | G02F1/35(2006.01)I;G02B27/09(2006.01)I;G02B5/18(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I | 专利有效期 | 含光束整形与波长转动调谐的线宽压缩装置 至含光束整形与波长转动调谐的线宽压缩装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种含光束整形与波长转动调谐的线宽压缩装置，由光束整形器、棱 镜扩束器和衍射光栅组成。通过在光路中置入棱镜将矩形光束的长轴分为 若干方向的子光束，通过高反镜将变向的子光束与原光束的短轴重叠，从 而实现光束长宽比的变化，进而减小须扩束方向的光束长度，有效地减小 了光栅长度；通过转动固定棱镜的转台实现激光的中心波长调谐机制，步 进电机转台和PZT纳米转台分别对两扩束棱镜实现粗略转动调和精密转 动，调整光束到光栅入射角来实现激光中心波长的粗调和精调。本发明可 实现窄线宽激光输出，光束整形有效减小衍射光栅的尺寸，中心波长的转 动调谐使结构紧凑、简单易调，本发明适用于多种类型的激光器，特别是 准分子激光器。 |
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