一种SiC纤维表面C/AlN复合梯度涂层制备方法

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专利名称 一种SiC纤维表面C/AlN复合梯度涂层制备方法 申请号 CN200810011416.8 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN101581036 公开(授权)日 2009.11.18 申请(专利权)人 中国科学院金属研究所 发明(设计)人 肖鹏;王玉敏;雷家峰;石南林;杨锐 主分类号 D06M11/74(2006.01)I IPC主分类号 D06M11/74(2006.01)I;D06M11/58(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I;C23C14/54(2006.01)I;C23C14/18(2006.01)I;C23C16/26(2006.01)I;C23C8/24(2006.01)I;D06M101/16(2006.01)N 专利有效期 一种SiC纤维表面C/AlN复合梯度涂层制备方法 至一种SiC纤维表面C/AlN复合梯度涂层制备方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明涉及复合材料的制备技术,具体地说是一种连续SiC纤维表面C/AlN 复合梯度涂层的制备方法。按如下步骤操作:第一步,富碳涂层SiC纤维的制备; 第二步,将生产的SiC纤维缠绕在样品支架上,然后放入磁控溅射仪真空室内; 第三步,当真空室的真空度优于1.0×10-3Pa时,转动样品支架,对其进行加热、 保温;第四步,保温结束后,首先通入氩气,然后通入氮气,使气体充分混合; 第五步,启动射频反应溅射电源进行溅射,溅射结束后,关闭气路,保持真空度 优于1×10-3Pa下,降温至40℃以下。本发明可以解决一般碳涂层不能满足界面 的复杂要求这个技术难题,采用本发明能够制备出强度较高且与钛合金基体界面 性能稳定的SiC纤维。

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