一种半导体芯片

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专利名称 一种半导体芯片 申请号 CN201110174980.3 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN102856303A 公开(授权)日 2013.01.02 申请(专利权)人 中国科学院微电子研究所 发明(设计)人 李宝霞;万里兮 主分类号 H01L23/64(2006.01)I IPC主分类号 H01L23/64(2006.01)I;H01L23/00(2006.01)I;H01L23/485(2006.01)I 专利有效期 一种半导体芯片 至一种半导体芯片 法律状态 专利申请权、专利权的转移 说明书摘要 公开了一种半导体芯片,包括:一半导体衬底以及若干穿透半导体衬底的导电硅通孔;所述半导体衬底上设有平板电容结构。本发明通过提高芯片上电源分配网络超宽带退耦能力,在超宽频带范围增强半导体芯片抑制电源噪声的产生和互扰,以及抵御外来电源噪声干扰的能力,从而提高半导体芯片性能。

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