| 专利名称 | 热光型红外探测器及其制作方法 | 申请号 | CN200910049388.3 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN101566502 | 公开（授权）日 | 2009.10.28 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明（设计）人 | 冯飞;闫许;熊斌;王跃林 | 主分类号 | G01J5/00(2006.01)I | IPC主分类号 | G01J5/00(2006.01)I;B81B7/02(2006.01)I;B81C5/00(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I;B81C3/00(2006.01)I | 专利有效期 | 热光型红外探测器及其制作方法 至热光型红外探测器及其制作方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种热光型红外探测器及制作方法，其特征在于所述的红外 探测器由硅衬底，制作于硅衬底之上的像素阵列，以及和硅衬底相键合的玻 璃构成，或者由硅衬底，制作于硅衬底之上的像素阵列，与硅衬底相键合的 玻璃以及和硅衬底相粘接的红外滤光片构成。在所述的TO-IRD中，采用特 殊的隔热柱结构和工艺设计，制作出具有较高高度、站立于硅衬底上的隔热 柱，提高TO-IRD的隔热性能；在像素膜系结构中，通过设计和制作专门的 红外吸收层，提高TO-IRD对红外辐射的吸收率，且不影响它对读出光的调 制功能；采用硅玻璃键合或在真空中粘接红外滤光片，实现器件的真空封装。 |
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