| 专利名称 | 具有深亚微米孔结构的数字微液滴驱动器及制作方法 | 申请号 | CN200910051290.1 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN101559914 | 公开（授权）日 | 2009.10.21 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明（设计）人 | 李铁;皋华敏;刘翔;周萍;王跃林 | 主分类号 | B81B7/02(2006.01)I | IPC主分类号 | B81B7/02(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I;B81C3/00(2006.01)I;B81C5/00(2006.01)I;G01N33/50(2006.01)I | 专利有效期 | 具有深亚微米孔结构的数字微液滴驱动器及制作方法 至具有深亚微米孔结构的数字微液滴驱动器及制作方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及具有深亚微米孔结构的数字微液滴驱动器结构及方法，其特 征在于所述的数字液滴驱动器包括双极板和单极板两种结构：所述的双极板 的结构的下层极板由绝缘衬底、驱动电极阵列、介质层、深亚微米孔结构和 疏水膜层构成，上层极板包括绝缘基板、参考电极层、深亚微米孔结构和疏 水膜层，上层极板和下层极板由支撑结构进行连接；驱动电极呈阵列状均布 于绝缘衬底上，介质层覆盖在驱动电极阵列上，深亚微米孔结构和疏水膜层 组成超疏水膜层，覆盖在介质层上；单极板结构与双极板结构中的下层极板 结构相同。采用深亚微米级结构有效增强疏水膜层的疏水性能，有效减小结 构的厚度，降低驱力电压。 |
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