| 专利名称 | 异型电极微型电场传感器 | 申请号 | CN201010504163.5 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102445604A | 公开（授权）日 | 2012.05.09 | 申请（专利权）人 | 中国科学院电子学研究所 | 发明（设计）人 | 夏善红;杨鹏飞;彭春荣 | 主分类号 | G01R29/12(2006.01)I | IPC主分类号 | G01R29/12(2006.01)I | 专利有效期 | 异型电极微型电场传感器 至异型电极微型电场传感器 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明的一种异型电极微型电场传感器，涉及传感器技术，传感器敏感结构包括衬底、激励单元、屏蔽电极、电场感应电极、锚点等部分。其中，激励单元包括激励电极和支撑梁，对称布置在传感器敏感结构的两侧；屏蔽电极和电场感应电极交错排列，布置在传感器敏感结构中间位置区域。激励单元、屏蔽电极、电场感应电极、锚点等位于同一结构层。本发明的微型电场传感器通过采用异型结构的电场感应电极和屏蔽电极，增加了传感器中电场感应电极在单位时间内电荷的改变量，从而提高了微型电场传感器的灵敏度。 |
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