| 专利名称 | 采用互补脉宽调制技术的模拟静电力反馈控制方法及电路 | 申请号 | CN201010513839.7 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102445564A | 公开（授权）日 | 2012.05.09 | 申请（专利权）人 | 中国科学院电子学研究所 | 发明（设计）人 | 叶珍华;杨海钢 | 主分类号 | G01P15/125(2006.01)I | IPC主分类号 | G01P15/125(2006.01)I;H03K5/22(2006.01)I | 专利有效期 | 采用互补脉宽调制技术的模拟静电力反馈控制方法及电路 至采用互补脉宽调制技术的模拟静电力反馈控制方法及电路 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种采用互补脉宽调制技术的模拟静电力反馈控制方法及电路，该反馈控制电路可与电容式微加速度计以及常见的电容读出前端配合，构成闭环结构的电容式微加速度计读出系统。本发明电路包括用于将外部输入的反馈控制电压Vin_FB与内部产生的锯齿波电压进行比较的比较器，带使能端的锯齿波发生器，用于产生两路互补控制时钟的逻辑块，以及多个静电力反馈控制开关。整个电路受一路静电力反馈控制时钟phFB控制。本发明电路通过三端子接口TOP、CTR、BOT与电容式微加速度计相连接，实现了高线性度的模拟静电力反馈，且其线性度对微加速度计的结构失配不敏感。 |
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