一种大孔径薄壁阳极氧化铝薄膜及其制备方法

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专利名称 一种大孔径薄壁阳极氧化铝薄膜及其制备方法 申请号 CN200910083566.4 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN101555615 公开(授权)日 2009.10.14 申请(专利权)人 中国科学院电工研究所 发明(设计)人 刘敏;赵雷;王文静 主分类号 C25D11/04(2006.01)I IPC主分类号 C25D11/04(2006.01)I;C25D11/16(2006.01)I;C25D11/08(2006.01)I 专利有效期 一种大孔径薄壁阳极氧化铝薄膜及其制备方法 至一种大孔径薄壁阳极氧化铝薄膜及其制备方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 一种大孔径薄壁阳极氧化铝薄膜,其特征是孔径为200纳米到300纳米,孔壁厚度为5 到20纳米;制备本发明薄膜的方法为:依次采用丙酮、乙醇和高纯水超声清洗铝片10分钟, 去除表面的油脂和脏污;将经过清洗的铝片置于质量百分数为5%的氢氧化钠溶液中反应30 分钟,去除铝片表面的氧化层。然后把步骤(1)制得的铝片放入质量百分数为1%-10%的磷 酸溶液中,在40-160V的电压下阳极氧化1分钟到1小时,然后将电压降低至10-120V范 围,继续阳极氧化10分钟到10个小时,至此大孔径薄壁阳极氧化铝薄膜制备完毕。

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