| 专利名称 | 一种组成可控的钯合金复合膜制备方法 | 申请号 | CN200810103649.0 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN101555594 | 公开（授权）日 | 2009.10.14 | 申请（专利权）人 | 中国科学院大连化学物理研究所 | 发明（设计）人 | 徐恒泳;袁立祥;安德列斯·哥德巴赫 | 主分类号 | C23C18/48(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C18/48(2006.01)I | 专利有效期 | 一种组成可控的钯合金复合膜制备方法 至一种组成可控的钯合金复合膜制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种组成可控的钯合金复合膜制备方法，通过对化学镀沉积金属钯和 第二组份过程中生成的气体进行定量，准确控制制备过程中金属钯及其第 二组份的沉积量，从而组成可控地制备钯合金复合膜。通过本发明的制备 方法，能够准确方便地控制钯合金膜的组成，获得组成较佳的钯合金复合 膜，从而具有高的透氢性能。利用本方法制备的高性能钯合金复合膜在氢 气分离和涉及氢气的反应中具有广阔的应用前景，特别是在电子行业、加 氢站和分散电站小规模制氢氢气分离方面，将比传统变压吸附分离(PSA) 技术具有明显的竞争优势。 |
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