提高碳化硅泡沫陶瓷高温抗氧化性能的表面涂层制备方法

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专利名称 提高碳化硅泡沫陶瓷高温抗氧化性能的表面涂层制备方法 申请号 CN200810010984.6 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN101555164 公开(授权)日 2009.10.14 申请(专利权)人 中国科学院金属研究所 发明(设计)人 张劲松;田冲;曹小明;杨振明;刘强 主分类号 C04B41/85(2006.01)I IPC主分类号 C04B41/85(2006.01)I;C04B41/88(2006.01)I 专利有效期 提高碳化硅泡沫陶瓷高温抗氧化性能的表面涂层制备方法 至提高碳化硅泡沫陶瓷高温抗氧化性能的表面涂层制备方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明涉及泡沫陶瓷材料及材料表面改性领域,具体指一种用于提高碳化硅 泡沫陶瓷高温抗氧化性能的表面涂层制备方法。该方法包括:第一步,将碳化硅 泡沫陶瓷在700~1300℃下预氧化处理1~10小时;第二步,经第一步处理的碳化 硅泡沫陶瓷在惰性气氛或者真空下,在离子溅射镀膜机内,利用Al金属靶材,在 泡沫陶瓷表面溅射一层金属Al;第三步,经第二步处理的碳化硅泡沫陶瓷在常温 空气气氛下放置10~24小时后,在500~1200℃氧化气氛下氧化处理1~20小时, 然后再通入Ar或N2保护气体升温至1200~1550℃保温0.5~2小时。本发明在碳 化硅泡沫陶瓷表面形成一层致密的抗高温氧化涂层,该种全新的方法具有有效、 适应性强、经济可靠的特点。

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