| 专利名称 | 一种投影物镜柔性机构调平装置 | 申请号 | CN201110236543.X | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102298271A | 公开（授权）日 | 2011.12.28 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 邢薇;胡松;王肇志;杨勇 | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F7/20(2006.01)I;G02B7/02(2006.01)I | 专利有效期 | 一种投影物镜柔性机构调平装置 至一种投影物镜柔性机构调平装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明是一种投影物镜柔性机构调平装置，所述装置由物镜托架板和相互独立、结构相同的三组柔性铰链结构组成；物镜托架板为台阶结构，台阶结构上具有台阶面，三组柔性铰链结构分别以等间距分布在物镜托架板的上表面上，并通过固定螺钉分别将每个柔性铰链结构固定在物镜托架板上，物镜安放在物镜托架板的台阶面上，载片台位于物镜的正下方，硅片放在载片台上，分别通过三个柔性铰链结构对物镜托架板的微动调平调整，实现对物镜的三点调平，以保证物镜的光轴与硅片表面垂直，并保证物镜的理想像平面与理想的硅片的上表面重合。本发明用于光刻机中，调整后物镜具有良好的刚性和热稳定性，以保证像质和焦面稳定，提高成像质量。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障