| 专利名称 | 等离子体浸没离子注入机 | 申请号 | CN201130445442.4 | 专利类型 | 外观设计 | 公开（公告）号 | CN301914763S | 公开（授权）日 | 2012.05.16 | 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 屈芙蓉;李楠;李超波;夏洋;李勇滔 | 主分类号 | 15-09 | IPC主分类号 | 15-09 | 专利有效期 | 等离子体浸没离子注入机 至等离子体浸没离子注入机 | 法律状态 | 说明书摘要 | 1.本外观设计产品的名称：等离子体浸没离子注入机。2.本外观设计产品的用途：用于半导体制造技术中的离子注入工艺。3.本外观设计的设计要点：在于外部形状。4.最能表明设计要点的图片或者照片：立体图。 |
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