| 专利名称 | 基于SEMI标准的SECS通信方法 | 申请号 | CN200810010912.1 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN101552794 | 公开（授权）日 | 2009.10.07 | 申请（专利权）人 | 沈阳中科博微自动化技术有限公司;中国科学院沈阳自动化研究所 | 发明（设计）人 | 于海斌;王宏;林跃;徐皑冬;周建辉;康凯;刘明哲;王水涛 | 主分类号 | H04L29/08(2006.01)I | IPC主分类号 | H04L29/08(2006.01)I;H04L12/54(2006.01)I | 专利有效期 | 基于SEMI标准的SECS通信方法 至基于SEMI标准的SECS通信方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明属于网络通信技术，具体地说是一种基于SEMI标准的SECS通 信方法。包括HSMS通信模块实现设备到主机的连接，并通过网络进行数 据传输步骤；及通过SECS协议模块进行SECS II编解码，实施数据收集、 设备控制和异常处理步骤。采用本发明可实现半导体工厂的自动化管理， 能够满足半导体器件制造过程中的高真空、高洁度、高无尘等特性要求， 可使不同的设备控制系统标准化、提高生产效率、降低生产成本。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障