一种基于四步移相原理的小型化径向剪切干涉仪

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专利名称 一种基于四步移相原理的小型化径向剪切干涉仪 申请号 CN201210524041.1 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN102967378A 公开(授权)日 2013.03.13 申请(专利权)人 中国科学院光电技术研究所 发明(设计)人 顾乃庭;饶长辉 主分类号 G01J9/02(2006.01)I IPC主分类号 G01J9/02(2006.01)I;G02B27/28(2006.01)I 专利有效期 一种基于四步移相原理的小型化径向剪切干涉仪 至一种基于四步移相原理的小型化径向剪切干涉仪 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明提供一种基于四步移相原理的小型化径向剪切干涉仪,包括:起偏器(P1),偏振分光棱镜(PBS),由焦距分别为f1和f2(f1≠f2)第一透镜(L1)和第二透镜(L2),以及第一反射镜(M1)和第二反射镜(M2)组成的缩束或扩束系统,1/4波片(QW),二元微偏振片阵列和光敏器件CCD相机。畸变光束进入该小型化径向剪切干涉仪,形成同光轴、偏振方向相互垂直且光束口径按相同比例缩放的光束对,并经过由1/4波片(QW)和二元微偏振片阵列组成的四步移相器后,投射到CCD相机的光敏面上,形成单帧干涉图。本发明无需绝对平面参考镜,可用于自适应光学等波前探测应用领域;采用全共光路结构,能够有效抑制环境扰动,对环境要求低,干涉图稳定。

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