| 专利名称 | 压阻加速度传感器的模态共振频率的半桥测试方法 | 申请号 | CN200910049634.5 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN101539588 | 公开（授权）日 | 2009.09.23 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明（设计）人 | 鲍海飞;李昕欣;宋朝辉;刘民 | 主分类号 | G01P21/00(2006.01)I | IPC主分类号 | G01P21/00(2006.01)I | 专利有效期 | 压阻加速度传感器的模态共振频率的半桥测试方法 至压阻加速度传感器的模态共振频率的半桥测试方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及提供一种压阻加速度传感器的模态共振频率的测试方法。其 特征在于在保持压阻加速度传感器原有全桥电路连接结构的基础上，利用金 属碰撞冲击产生丰富的频谱作为激励源，通过适当的外接电路，采用半桥输 出的形式，以获得加速度传感器模态的共振频率信息，利用获得的原始数据 进行频谱分析，获得微结构的模态共振频率。加速度传感器模态的共振频率 包括器件在敏感方向和非敏感方向的同一结构的不同共振频率。通过确定加 速度传感器不同模态的一阶共振频率，还可以获取微结构加工制造的结构参 数，验证结构尺寸设计的正确性，可用来分析器件工作状态。测试方法适合于 具有全桥结构的高量程压阻、电容等类型的加速度传感器、压力传感器等。 |
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