一种在绝缘材料上制备单晶石墨烯的方法

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专利名称 一种在绝缘材料上制备单晶石墨烯的方法 申请号 CN201210581219.6 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN103060907A 公开(授权)日 2013.04.24 申请(专利权)人 中国科学院化学研究所 发明(设计)人 刘云圻;陈建毅;黄丽平;薛运周;耿德超;罗庇荣;武斌;郭云龙;于贵 主分类号 C30B25/18(2006.01)I IPC主分类号 C30B25/18(2006.01)I;C30B29/02(2006.01)I 专利有效期 一种在绝缘材料上制备单晶石墨烯的方法 至一种在绝缘材料上制备单晶石墨烯的方法 法律状态 公开 说明书摘要 本发明公开了一种在绝缘材料上制备单晶石墨烯的方法。该方法,包括:1)将绝缘材料在非氧化性气氛中升温至1200-1800℃,保持10-30分钟;2)保持所述步骤1)中的温度不变,向步骤1)反应体系中充入碳源和氢气,采用化学气相沉积法在所述步骤1)处理完毕的绝缘材料上进行反应,反应完毕关闭所述碳源,在非氧化性气氛下冷却至室温,得到所述单晶石墨烯。该石墨烯具有规则的几何形貌,如正六变形和正十二变形。该方法工艺简单,与现有半导体工业兼容。

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