| 专利名称 | 一种全自动下传输系统 | 申请号 | CN201110357788.8 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103103495A | 公开（授权）日 | 2013.05.15 | 申请（专利权）人 | 中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司 | 发明（设计）人 | 雷震霖;赵崇凌;李士军;张健;张冬;洪克超;徐宝利;钟福强;陆涛;许新;王刚;刘兴;郭玉飞;王学敏;李松 | 主分类号 | C23C16/44(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C16/44(2006.01)I | 专利有效期 | 一种全自动下传输系统 至一种全自动下传输系统 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明属于PECVD的传输系统领域，具体地说是一种全自动下传输系统。包括装载台、升降传输、下传输系统、卸载台，所述下传输系统包括4个传输工位、固态继电器及PLC，其中每个传输工位均由电机、传感器以及传输型材组成，所述电机与传感器设置在传输型材上；所述PLC与传感器及固态继电器电连接，固态继电器与所述电机电连接。本发明在由4个传输工位构成的下传输系统上传输碳板，避免了在8个传输工位构成的传输系统传输不稳等缺点，可以降低碎片率，并且由于减少了设备元件，可以降低成本。 |
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