专利名称 | 一种提高二氧化钒薄膜热色特性的方法 | 申请号 | CN201210454445.8 | 专利类型 | 发明专利 | 公开(公告)号 | CN102994951A | 公开(授权)日 | 2013.03.27 | 申请(专利权)人 | 中国科学院广州能源研究所 | 发明(设计)人 | 肖秀娣;徐刚;孙耀明;程浩亮 | 主分类号 | C23C14/08(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C14/08(2006.01)I;C23C14/58(2006.01)I;C23C14/54(2006.01)I | 专利有效期 | 一种提高二氧化钒薄膜热色特性的方法 至一种提高二氧化钒薄膜热色特性的方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种提高二氧化钒薄膜热色特性的方法,其特征在于利用真空倾斜沉积技术在基底上制备具有雕塑结构的二氧化钒薄膜,利用雕塑结构的多孔性和各向异性调控二氧化钒薄膜的光学性能和热色性能,然后通过后期热处理提高二氧化钒薄膜的结晶特性。该方法制备的薄膜可以广泛应用智能节能窗,温控开关,热敏电阻,光存储,红外防护等领域。 |
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