| 专利名称 | 一种红外探测器用多工位真空排气装置 | 申请号 | CN201310040102.1 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103089592A | 公开（授权）日 | 2013.05.08 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 发明（设计）人 | 曹岚;张海燕;朱宪亮;庄馥隆;季鹏;陆华杰;龚海梅 | 主分类号 | F04B41/00(2006.01)I | IPC主分类号 | F04B41/00(2006.01)I | 专利有效期 | 一种红外探测器用多工位真空排气装置 至一种红外探测器用多工位真空排气装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种红外探测器用多工位真空排气装置，其包括主腔体、主腔体密封阀、分子泵、插板阀、旁抽阀、机械泵及前级阀。主腔体为整个真空排气装置的公共真空室，其圆周上分布多个外接接头，将公共室分为多个排气支路。主腔体公共真空室与泵组间有两个排气通道。所有阀门均为超高真空气动阀。装置的密封形式均为金属密封。该红外探测器用真空排气装置结构简单、易于拆装、工位数目多、真空度能达到较高水平、主腔体与工位的压强差小、选用的所有阀门和泵组均可自动化控制。 |
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