| 专利名称 | 一种Z-θx-θy三自由度抗弯矩高精度工作台 | 申请号 | CN201210331302.8 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103000231A | 公开（授权）日 | 2013.03.27 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 谭大川;翟嘉;吴永前;张灿 | 主分类号 | G12B9/08(2006.01)I | IPC主分类号 | G12B9/08(2006.01)I | 专利有效期 | 一种Z-θx-θy三自由度抗弯矩高精度工作台 至一种Z-θx-θy三自由度抗弯矩高精度工作台 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种Z-θx-θy三自由度抗弯矩高精度工作台，包括：压电陶瓷驱动器螺钉、压电陶瓷驱动器端盖、压电陶瓷驱动器端盖螺钉、压电陶瓷驱动器、外筒、工作台、弹性顶紧机构端盖、弹性顶紧机构端盖螺钉、弹性顶紧机构顶丝、弹性顶紧机构。本发明结构紧凑，可实现Z-θx-θy三自由度亚微米级精度的无耦合运动，并可承载一定弯矩载荷。 |
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