| 专利名称 | 一种异质pn结型日盲紫外探测器 | 申请号 | CN200910048822.6 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN101533868 | 公开（授权）日 | 2009.09.16 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海硅酸盐研究所 | 发明（设计）人 | 李效民;杨长;高相东;张亦文;曹逊 | 主分类号 | H01L31/103(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L31/103(2006.01)I;H01L31/0296(2006.01)I | 专利有效期 | 一种异质pn结型日盲紫外探测器 至一种异质pn结型日盲紫外探测器 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种异质pn结型日盲紫外探测器，其结构自上而下依次由 顶电极，锌铍镁氧薄膜，p-Si衬底和底电极叠置而成。锌铍镁氧薄膜作为光 电响应材料，其分子式为Zn1-x-yBexMgyO，式中x、y为摩尔分数，且0＜x＜1， 0＜y＜1，0＜x+y＜1。可在保持单一六方纤锌矿结构的前提下，通过调节薄膜中 Be和Mg的含量控制探测器工作波段至日盲区(220～280nm)。锌铍镁氧薄 膜与p-Si形成异质pn结结构，入射光产生的电子-空穴对可在内建电场作用 下分开，导致载流子漂移出耗尽层形成外部电路电流。本发明的优点在于不 受太阳光背景干扰，成本低，无需外加工作电压，结构简单且易于与Si集成， 在环境保护、紫外通讯、生物医学研究以及天文学等领域具有重 要应用前景。 |
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