| 专利名称 | 一种简易的PDMS聚合物微透镜阵列的制备方法及应用 | 申请号 | CN201210470418.X | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102967890A | 公开（授权）日 | 2013.03.13 | 申请（专利权）人 | 中国科学院大连化学物理研究所 | 发明（设计）人 | 秦建华;姜雷;朱国丽 | 主分类号 | G02B3/00(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B3/00(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I | 专利有效期 | 一种简易的PDMS聚合物微透镜阵列的制备方法及应用 至一种简易的PDMS聚合物微透镜阵列的制备方法及应用 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种简易的PDMS聚合物微透镜阵列的制备方法及应用，采用光刻方法设计好的图形在SU8光刻胶上曝光，然后采用显影液进行显影，控制显影时间，使未曝光的SU8光刻胶部分去除；然后将其置于烘箱内进行烘烤，使其底部呈圆弧状；取出降至室温后，进行二次曝光，使SU8完全固化，便制成用于制作PDMS聚合物透镜的模板；将未固化后的PDMS聚合物溶液倒入上述的模板上，加热固化PDMS聚合物溶液，剥离PDMS芯片便制成PDMS聚合物透镜阵列；制备成的PDMS透镜可以用于光学成像等应用；本发明方法具有操作简单、快速，实验成本低廉，可与其它技术集成等优点。 |
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