| 专利名称 | 一种纳米多层结构的VC/Co增韧涂层及其制备方法 | 申请号 | CN201210575224.6 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103042753A | 公开（授权）日 | 2013.04.17 | 申请（专利权）人 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 | 发明（设计）人 | 黄峰;张晓娟;李艳玲 | 主分类号 | B32B9/04(2006.01)I | IPC主分类号 | B32B9/04(2006.01)I;B32B15/04(2006.01)I;C23C14/14(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I;B82Y40/00(2011.01)I;B82Y30/00(2011.01)I | 专利有效期 | 一种纳米多层结构的VC/Co增韧涂层及其制备方法 至一种纳米多层结构的VC/Co增韧涂层及其制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种纳米多层结构的VC/Co增韧涂层，由VC层和Co层交替沉积而成，相邻的一层VC层和一层Co层构成一个双层周期层，每个双层周期层的厚度为1～88nm，每个双层周期层中VC层与Co层的厚度比为1.0～3.0：1，总厚度为1~5μm。本发明还公开了一种纳米多层结构VC/Co增韧涂层的制备方法，其方法为：将VC靶和Co靶分别安装在中频阴极上，靶面垂直于旋转工作台，采用磁控溅射方法对基体进行沉积。本发明纳米多层结构的VC/Co增韧涂层在保持涂层具有较高的硬度的同时提高了涂层的韧性，可以满足防护涂层及耐磨涂层硬度和韧性的要求，其制备方法可操作性强、可控性好、易于工业化生产。 |
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