| 专利名称 | 一种乐甫波传感器的封装结构 | 申请号 | CN200810101502.8 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN101527552 | 公开（授权）日 | 2009.09.09 | 申请（专利权）人 | 中国科学院声学研究所 | 发明（设计）人 | 李红浪;陈烨;何世堂 | 主分类号 | H03H9/25(2006.01)I | IPC主分类号 | H03H9/25(2006.01)I;H03H9/02(2006.01)I | 专利有效期 | 一种乐甫波传感器的封装结构 至一种乐甫波传感器的封装结构 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种乐甫波传感器的封装结构，包括乐甫波传感器，该乐甫波传感 器的输入叉指换能器和输出叉指换能器位于敏感膜的左、右两侧，其特征在于：还 包括有微流体芯片，该微流体芯片对应地键合在乐甫波传感器上；所述的微流体芯 片与乐甫波传感器的接触面上设置有凹槽，以和乐甫波传感器键合后形成互不连通 的输入叉指换能器空腔、输出叉指换能器空腔和敏感膜空腔；所述的微流体芯片与 乐甫波传感器的接触部分的表面上、位于敏感膜的上、下两侧还设置有若干微通道， 所述微通道的一端连通敏感膜空腔，另一端连通微流体芯片上设置的用于待测物进、 出入的通孔。本发明能有效提高传感器的重复性、准确性和可靠性。 |
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