| 专利名称 | 一种单粒子效应测试装置及系统 | 申请号 | CN201210590234.7 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103063961A | 公开（授权）日 | 2013.04.24 | 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 王德坤;谢朝辉;赵明琦;刘海南;周玉梅;黑勇 | 主分类号 | G01R31/00(2006.01)I | IPC主分类号 | G01R31/00(2006.01)I | 专利有效期 | 一种单粒子效应测试装置及系统 至一种单粒子效应测试装置及系统 | 法律状态 | 公开 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种单粒子效应测试装置及系统，该测试装置包括：旋转机构和与所述旋转机构相连的测试母板，所述测试母板上设置有多个测试子板，其中：每一测试子板用于安装被测器件；所述旋转机构用于获取控制请求，并根据控制请求驱动所述测试母板转动或者停止，使得每一测试子板接收加速器朝固定方向辐射的高能带电粒子。在该测试装置中，增加了测试子板的个数和被测器件的数量，减少了更换被测器件的次数，解决了现有技术中，由于需要频繁的更换被测器件而使得操作繁琐的问题，且每次更换被测器件进行抽真空操作浪费加速器的资源的问题。 |
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