| 专利名称 | 一种用于匹配器设备的空气电容结构 | 申请号 | CN201310029910.8 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103065791A | 公开（授权）日 | 2013.04.24 | 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 杨进;徐维江;李勇滔;夏洋 | 主分类号 | H01G4/228(2006.01)I | IPC主分类号 | H01G4/228(2006.01)I;H01G4/38(2006.01)I | 专利有效期 | 一种用于匹配器设备的空气电容结构 至一种用于匹配器设备的空气电容结构 | 法律状态 | 公开 | 说明书摘要 | 本发明涉及等离子刻蚀、淀积设备技术领域，具体涉及一种用于匹配器设备的空气电容结构。所述空气电容结构，包括电容片和连接所述电容片的连接杆，所述连接杆上固定设有连接柱，所述连接柱将镀银线圈与所述连接杆连接。本发明通过在空气电容的连接杆上设置连接柱，在等离子体工艺中实现通过空气电容的大电流分布均匀，有利于提高电容耐电流的能力，提高电容的容量范围，直接提高空气电容使用寿命，提升了匹配性的可靠性能，增加了整机设备的使用寿命。 |
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