| 专利名称 | 一种集成微结构的PDMS薄膜制作方法 | 申请号 | CN201210555203.8 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103009534A | 公开（授权）日 | 2013.04.03 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明（设计）人 | 李刚;汤腾;赵建龙 | 主分类号 | B29C41/04(2006.01)I | IPC主分类号 | B29C41/04(2006.01)I;B29C33/38(2006.01)I;B29C41/34(2006.01)I;B29L7/00(2006.01)N | 专利有效期 | 一种集成微结构的PDMS薄膜制作方法 至一种集成微结构的PDMS薄膜制作方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种集成微结构的PDMS薄膜制作方法，其特征在于首先利用PDMS转模工艺将目标微结构从基于微加工工艺制作的母模复制至热熔性或水溶性材料表面，形成具有可熔化或溶解特性的牺牲层模具；然后在所制作牺牲层模具表面旋涂一薄层PDMS，同时在PDMS上压贴一胶片外框，待PDMS固化后，最后通过加热或浸入水中熔化或溶解牺牲层模具释放PDMS薄膜结构，并通过胶片外框辅助实现PDMS薄膜的转移和应用。该方法利用牺牲层模具制作和释放集成微结构的PDMS薄膜，避免了传统手工机械剥离方法对PDMS薄膜的损坏，大大降低了制作脆弱PDMS薄膜结构的难度，提高了制作PDMS薄膜的成功率，可实现PDMS薄膜结构的高产率批量化生产。 |
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