一种具有近场光学扫描功能的透射电子显微镜

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专利名称 一种具有近场光学扫描功能的透射电子显微镜 申请号 CN201210518692.X 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN103021776A 公开(授权)日 2013.04.03 申请(专利权)人 中国科学院物理研究所 发明(设计)人 许智;白雪冬 主分类号 H01J37/28(2006.01)I IPC主分类号 H01J37/28(2006.01)I;H01J37/244(2006.01)I 专利有效期 一种具有近场光学扫描功能的透射电子显微镜 至一种具有近场光学扫描功能的透射电子显微镜 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明一种具有近场光学扫描功能的透射电子显微镜,包括透射电子显微镜本体,透射显微镜本体上插装有样品杆,该样品杆的一端安装有用于加载样品的样品夹具,样品杆中空设置,杆身内设置有伸向样品的定位装置,定位装置上安装有采集和引入近场光信号的光纤探针,通过控制定位装置使光纤探针靠近或贴靠在样品上,光纤探针与激发光光源和/或光信号分析仪器光纤连接,实现近场光信号的双向传输。本发明实现了在用透射电子显微镜对样品材料做常规结构观察、表征的同时可用光纤探针对样品进行近场光谱学表征,实现样品微观结构与光学性质的一一关联,还可以同时使用有金属镀层的光纤探针测量样品的电输运性质,是透射电子显微镜功能的巨大扩展。

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