具有外腔偏振控制的垂直腔面发射激光器

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专利名称 具有外腔偏振控制的垂直腔面发射激光器 申请号 CN200910066782.8 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN101521355 公开(授权)日 2009.09.02 申请(专利权)人 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 发明(设计)人 王伟;宁永强;秦莉;刘云;王立军 主分类号 H01S5/183(2006.01)I IPC主分类号 H01S5/183(2006.01)I;H01S5/14(2006.01)I;G02B5/18(2006.01)I;H01S5/0683(2006.01)I 专利有效期 具有外腔偏振控制的垂直腔面发射激光器 至具有外腔偏振控制的垂直腔面发射激光器 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明涉及到一种垂直腔面发射激光器,特别是一种具有外腔偏振控制 的垂直腔面发射激光器,主要包括p型DBR层、有源层、n型DBR层、GaAs 衬底、包覆在p型DBR层上的p面电极和敷设在GaAs衬底底部的n面电极 和设置在出射光光轴上的外腔高反射镜,其特点是,在出射光窗口和外腔高 反射镜之间还设置一非晶态硅光栅。本发明通过上述外腔结构,能够对输出 光的偏振特性进行很好的稳定和控制,达到很高的偏振选择比,同时提高了 线性偏振光的输出功率。

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