| 专利名称 | 通过出射光窗口电极结构控制偏振的垂直腔面发射激光器 | 申请号 | CN200910066780.9 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN101521353 | 公开（授权）日 | 2009.09.02 | 申请（专利权）人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明（设计）人 | 王伟;宁永强;秦莉;刘云;王立军 | 主分类号 | H01S5/183(2006.01)I | IPC主分类号 | H01S5/183(2006.01)I;H01S5/02(2006.01)I | 专利有效期 | 通过出射光窗口电极结构控制偏振的垂直腔面发射激光器 至通过出射光窗口电极结构控制偏振的垂直腔面发射激光器 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及到一种垂直腔面发射激光器，特别是一种通过出射光窗口电 极结构控制偏振的垂直腔面发射激光器，包括p型DBR层、有源层、n型 DBR层、GaAs衬底、包覆在p型DBR层上的p面电极和敷设在GaAs衬底 底部的n面电极的层次结构，其特点是，所述的n面电极由环形极板和覆盖 于出射光窗口部分的条形栅极构成，其条形栅极的轴向平行于所述衬底的 (110)晶向。本发明VCSEL结构制造工艺简捷、重复性好，容易推广，将VCSEL 出射光的偏振方向很好的控制在衬底的(110)晶向和(110)晶向。 |
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