傅立叶光谱仪中平面动镜倾斜角的大范围测角方法

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专利名称 傅立叶光谱仪中平面动镜倾斜角的大范围测角方法 申请号 CN200910048169.3 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN101520323 公开(授权)日 2009.09.02 申请(专利权)人 中国科学院上海技术物理研究所 发明(设计)人 魏焕东;华建文;代作晓;王战虎;李宁刚 主分类号 G01B11/26(2006.01)I IPC主分类号 G01B11/26(2006.01)I;G01J3/45(2006.01)I 专利有效期 傅立叶光谱仪中平面动镜倾斜角的大范围测角方法 至傅立叶光谱仪中平面动镜倾斜角的大范围测角方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明公开了一种傅立叶光谱仪中平面动镜倾斜角的大范围测角方法,它 用于动镜为平面镜的傅立叶光谱仪中,为动态校准控制提供精确的反馈量。本 发明通过实时反演各参考激光探测元信号的相位延迟,测量动镜的倾斜角度。 对两对正交信号Ia,Ia′和Ib,Ib′高速连续同步触发采样,计算得出实时直流分 量参数和交流分量的幅值参数分别作为数字滤直的参数和归一化参数。采样信 号数字滤直和归一化处理后得到单位圆上两点(Ia′,Ia′′)和(Ib′,Ib′′)。计 算两点的相位,并限制在[0,2π)内,进而得到相位差。通过合理设置阈值对相 位差进行调整。最后根据相位差与动镜倾角的关系,计算动镜的倾斜量。这种 方法可以实现全程高精密大范围测量动镜倾角。

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