一种微流控芯片的封接方法及其应用

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专利名称 一种微流控芯片的封接方法及其应用 申请号 CN200910080983.3 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN101510518 公开(授权)日 2009.08.19 申请(专利权)人 中国科学院化学研究所 发明(设计)人 江龙;韩建华;李少华;张建平 主分类号 H01L21/50(2006.01)I IPC主分类号 H01L21/50(2006.01)I;H01L21/56(2006.01)I;G01N33/00(2006.01)I 专利有效期 一种微流控芯片的封接方法及其应用 至一种微流控芯片的封接方法及其应用 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明公开一种微流控芯片的封接方法及其应用。该封接方法,包括如下步骤: 1)将聚二甲基硅氧烷(PDMS)薄膜紧密贴合于刻蚀有通道的基片上,保证PDMS薄膜 与刻蚀有通道的基片之间没有气泡;2)将真空处理过的PDMS与固化剂的混合液涂 敷在刻蚀有通道的基片表面未被PDMS薄膜覆盖的部分,再加盖一层基片,热固化后, 完成所述微流控芯片的封接。该方法操作简单,成本低廉,制作周期短,重现性好; 非常适宜于加工数十微米的微观结构,特别是对于水相介质芯片完全不会发生泄漏, 成品率达到100%。当芯片需要清洗或发生堵塞的情况时,PDMS可与微流控芯片基 片可逆拆分。利用本发明提供的封接方法制备微流控芯片,可很容易地实现混合、分 离等单元操作,可用于制作共轭聚合物传感芯片。

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