| 专利名称 | 多孔氧化铝薄膜的阻挡层厚度的检测方法 | 申请号 | CN201010280022.X | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102401633A | 公开（授权）日 | 2012.04.04 | 申请（专利权）人 | 国家纳米科学中心 | 发明（设计）人 | 智林杰;贾玉莹;罗彬;梁明会 | 主分类号 | G01B11/06(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B11/06(2006.01)I | 专利有效期 | 多孔氧化铝薄膜的阻挡层厚度的检测方法 至多孔氧化铝薄膜的阻挡层厚度的检测方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供了一种多孔氧化铝薄膜的阻挡层厚度的检测方法，其特征在于，该方法包括根据多孔氧化铝薄膜在200nm～2500nm范围内的透射光谱米判断多孔氧化铝薄膜是否含有阻挡层，其中，如果透射光谱在200nm～2500nm范围内出现振荡，则判断该多孔氧化铝薄膜的阻挡层的厚度大于0；如果透射光谱在200nm～2500nm范围内不出现振荡，则判断该多孔氧化铝薄膜的阻挡层的厚度为0。本发明的方法是一种无损检测方法，该方法能够简便、快速、高效、对样品无损害地监控以及检测多孔氧化铝薄膜的阻挡层的去除程度，在大规模生产中可以作为产品控制以及质量检测的重要手段。 |
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