| 专利名称 | 微机械推拉式可调谐光栅 | 申请号 | CN200810204560.3 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN101493574 | 公开（授权）日 | 2009.07.29 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明（设计）人 | 李铁;明安杰;周萍;刘延祥;周宏;王翊;王跃林 | 主分类号 | G02B26/00(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B26/00(2006.01)I | 专利有效期 | 微机械推拉式可调谐光栅 至微机械推拉式可调谐光栅 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种微机械推拉式可调谐光栅，其特征在于所述的微机械推 拉式可调谐光栅包括光栅条阵列、光栅链接梁、光栅支撑梁以及所连接的推 驱动器和拉驱动器，其中，光栅条阵列通过光栅链接梁相连后构成光栅本体， 再通过光栅支撑梁与推驱动器和拉驱动器相连构成微机械推拉式可调谐光 栅；所述的推驱动器或拉驱动器位于光栅本体的一侧或两侧；光栅链接梁为 1级或多级细弹性梁。本发明提供推拉式光栅结构降低了常规拉伸式DRIE工 艺的苛刻要求，在相同条件下可实现更大的调谐范围，且可采用常规的MEMS 工艺，易于大批量、低成本制作。 |
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