专利名称 | 基于小口径圆形哈特曼-夏克波前传感器的拼接检测装置 | 申请号 | CN200910078256.3 | 专利类型 | 发明专利 | 公开(公告)号 | CN101493375 | 公开(授权)日 | 2009.07.29 | 申请(专利权)人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明(设计)人 | 饶长辉;郑翰清;姜文汉;饶学军;杨金生;樊志华 | 主分类号 | G01M11/00(2006.01)I | IPC主分类号 | G01M11/00(2006.01)I | 专利有效期 | 基于小口径圆形哈特曼-夏克波前传感器的拼接检测装置 至基于小口径圆形哈特曼-夏克波前传感器的拼接检测装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 基于小口径圆形哈特曼-夏克波前传感器的拼接检测装置,其特征在于:包含有哈特曼- 夏克波前传感器、x-z二维电控平移台、步进电机控制器、计算机、待测镜面及数据采集卡; 哈特曼-夏克波前传感器位于待测镜面之后对待测镜面进行检测,并且在哈特曼-夏克波前传 感器形成光斑点阵,由数据采集卡采集上述光斑数据并传输到计算机中存储;计算机向步进 电机控制器发出指令,控制二维电控平移台沿x轴与z轴移动对待测镜面进行扫描检测,利 用数据采集卡依次采得各帧子波面处的光斑数据,然后利用质心算法、拼接方法及复原算法 得到待测波面。采用本发明装置及方法,通过理论分析忽略了离焦误差项改进了公式;且消 除了平移误差此项原理误差,提高了拼接精度并降低了拼接参数求解计算复杂度。 |
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