电阻转换存储器

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专利名称 电阻转换存储器 申请号 CN200910046487.6 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN101488514 公开(授权)日 2009.07.22 申请(专利权)人 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 发明(设计)人 张挺;宋志棠;刘波;封松林;陈邦明 主分类号 H01L27/24(2006.01)I IPC主分类号 H01L27/24(2006.01)I;H01L21/762(2006.01)I;G11C16/02(2006.01)I 专利有效期 电阻转换存储器 至电阻转换存储器 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明揭示一种电阻转换存储器,包括选通单元、数据存储单元;所述选通 单元为PN二极管、或肖特基二极管、或双极型晶体管;所述电阻转换存储器采用 的选通单元被至少两个深度不同的浅沟道相互隔离开。本发明提供几种电阻转换 存储器的器件结构,包括了PN二极管、肖特基二极管和双极型晶体管的器件结 构,这些结构的特点在于构造简单,因此其制造方法简便,且与半导体工艺完全 兼容,有助于降低成本,使采用该技术的高密度电阻转换存储器更具竞争力。

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