| 专利名称 | 提高谐振式超薄悬臂梁传感器灵敏度的表面应力敏感方法 | 申请号 | CN200910045484.0 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN101477029 | 公开（授权）日 | 2009.07.08 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明（设计）人 | 夏晓媛;李昕欣 | 主分类号 | G01N19/00(2006.01)I | IPC主分类号 | G01N19/00(2006.01)I | 专利有效期 | 提高谐振式超薄悬臂梁传感器灵敏度的表面应力敏感方法 至提高谐振式超薄悬臂梁传感器灵敏度的表面应力敏感方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种提高谐振式超薄悬臂梁传感器的表面应力敏感方法，属 于微机械传感技术领域。具体特征是在超薄的谐振式悬臂梁的上、下表面上 均自组装生长能够进行选择特异性识别的单分子敏感膜，当敏感分子与待检 测的目标分子特异性结合后，目标分子之间的相互作用在悬臂梁的表面上产 生了表面应力，上下表面应力的共同作用导致悬臂梁的弹性系数发生变化， 从而改变了悬臂梁的固有谐振频率，通过测量谐振频率的变化即可实现对目 标分子的检测。同传统的利用质量吸附方法进行敏感测试相比，利用这种表 面应力敏感的方法进行生化痕量测试，其灵敏度可以提高一个数量级。本发 明特点是原理简单、灵敏度高、容易实现。 |
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