| 专利名称 | 一种太阳能电池刻边机反应室结构 | 申请号 | CN200710303893.7 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN101471395 | 公开（授权）日 | 2009.07.01 | 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 刘训春;周宗义;李兵;王佳;张育胜;张永利 | 主分类号 | H01L31/18(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L31/18(2006.01)I;H01L21/3065(2006.01)I;H01J37/32(2006.01)I;H05H1/46(2006.01)I;C23F4/00(2006.01)I | 专利有效期 | 一种太阳能电池刻边机反应室结构 至一种太阳能电池刻边机反应室结构 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明一种太阳能电池刻边机反应室结构，它的腔壁与太阳电池片形 状相似，呈方形，四角处可呈切角状或弧形，并作为产生辉光放电的射频 供电的一个电极接地，腔室中间有一个金属电极接射频输出，该金属射频 电极上放置有一结构特殊的载片架。在载片架中重叠在一起的硅片的边沿 与腔壁之间的空间产生等离子体辉光，从而对载片架上的硅片边沿进行腐 蚀。该反应室结构可使太阳能电池片的边沿钻蚀明显地减小，因而可提高 太阳能电池片的转换效率和每批产品的一致性，同时它还有载片量大、刻 蚀均匀性好等优点。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障