| 专利名称 | 类富勒烯碳膜的制备方法 | 申请号 | CN200710308591.9 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN101469402 | 公开（授权）日 | 2009.07.01 | 申请（专利权）人 | 中国科学院兰州化学物理研究所 | 发明（设计）人 | 王鹏;张俊彦;刘维民 | 主分类号 | C23C14/24(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C14/24(2006.01)I;C23C14/30(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I | 专利有效期 | 类富勒烯碳膜的制备方法 至类富勒烯碳膜的制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种高弹性、低摩擦类富勒烯碳膜的制备方法。本发明采用 复合气相沉积系统，利用脉冲高偏压与磁控溅射相结合的方法制备。制备出的类 富勒烯碳膜具有原子量级的表面光洁度、较低的摩擦系数、较高的硬度以及良好 的弹性恢复性能。因此适用于高精度空间运动部件、微机电系统的润滑，并有望 成为一种长寿命、低摩擦的减摩抗磨固体润滑薄膜。 |
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