| 专利名称 | 一种大范围平面度的测量装置 | 申请号 | CN201220080594.8 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN202471022U | 公开（授权）日 | 2012.10.03 | 申请（专利权）人 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 肖茂森;吴易明;李春艳;刘爱敏;陆卫国 | 主分类号 | G01B11/30(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B11/30(2006.01)I | 专利有效期 | 一种大范围平面度的测量装置 至一种大范围平面度的测量装置 | 法律状态 | 授权 | 说明书摘要 | 本实用新型提供一种大范围平面度的测量装置，从而方便、快速地对大范围平面度进行有效测量。该大范围平面度的测量装置包括高精度自准直仪、斜方棱镜组以及可转动连接装置。测量时，斜方棱镜的测量头部瞄准待测平面，通过高精度自准直仪测量待测平面的平面度，其中高精度自准直仪所发出的平行光路，经过两个斜方棱镜，在每个斜方棱镜的两次反射作用后，其出射光矢量和原入射光矢量相同，即每个斜方棱镜经过两次反射所折转的光路不影响出射光矢量，待测平面反射后的光路又经过斜方棱镜至高精度自准直仪，便可以实现对被测平面的平面度测量。 |
1、源头对接，价格透明
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