| 专利名称 | 一种PIII工艺流程控制和在线剂量、均匀性检测装置 | 申请号 | CN201120527096.9 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN202487543U | 公开（授权）日 | 2012.10.10 | 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 汪明刚;李超波;屈芙蓉;夏洋 | 主分类号 | H01L21/66(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L21/66(2006.01)I;H01L21/265(2006.01)I | 专利有效期 | 一种PIII工艺流程控制和在线剂量、均匀性检测装置 至一种PIII工艺流程控制和在线剂量、均匀性检测装置 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型公开了一种PIII工艺流程控制和在线剂量、均匀性检测装置，属于PIII技术领域。该装置包括工作腔室、气源、功率源、偏压源、真空系统、偏压电极、冷却系统，还包括法拉第杯系统、信号检出系统和信号处理与控制系统。该装置能够实现在线检测PIII剂量和均匀性。 |
1、源头对接，价格透明
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